产品特性:金刚石刀头 | 加工定制:否 | 品牌:OPTO |
型号:OSM-80TS | 用途:解理 | 别名:金刚石划线机 |
规格:4寸 |
一、设备简介
设备由石英工作台、X/Y轴移动机构、θ轴旋转机构、Z轴金刚刀头机构、光学系统、PLC控制系统、操作系统、影像系统等部分组成,用于InP、GaAs等化合物半导体材料的划片加工。
二、设备特点
具备一次划片、二次划片及全划片功能。
支持完整圆片、矩形片、不规则破片来料。
可处理长度不一Bar条供料。
可处理1列以上Bar条供料。
划片工作台可实现真空吸附,且吸真空与破真空可程控。
刀头荷重电子化控制,压力设定通过触摸屏 进行,可连续设定压力数值。
作业过程中划切位置、划线长度、下切深度,均可透过PLC控制调节。
可自动记录划切芯片、Bar条数量及划片刀使用次数。
划片作业程序可存储及调用。